金融界 2025 年 4 月 2 日音讯,国家知识产权局信息数据显现,ASM IP 私家控股有限公司请求一项名为“用于在衬底上构成图画的办法”的专利,公开号 CN 119739006 A,请求日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显现,公开了一种在衬底上构成图画的办法。该办法有:供给具有曝光室的极紫外(EUV)光刻体系,向曝光室供给衬底,衬底包含可图画化层,可图画化层包含光敏外表终端;以及将衬底露出于 EUV 辐射,一起将可图画化层露出于反响性气体,从而在可图画化层上构成包含曝光区域和未曝光区域的图画,未曝光区域包含光敏外表终端,曝光区域包含改动的外表终端。
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