2025年3月，中国科学院宣称全固态深紫外（DUV）激光技术已被成功研发出来。其运用Yb:YAG晶体放大器来产生1030nm的基频光，再借助四次谐波转换以及光学参数放大的方式生成193nm的紫外光，彻底摆脱了传统DUV光刻机所依赖的氟化氩（ArF）准分子激光技术，输出功率可达70mW，频率为6kHz。这一技术达成了三个颠覆性的突破：

  性能达到国际顶尖水平：其193nm的波长和主流深紫外（DUV）光刻机的参数相同，能够为3nm芯片制造提供支持，从而避开阿斯麦（ASML）极紫外（EUV）光刻机的专利封锁。

  产业链的自主可控性体现在：固态设计并不是特别需要稀有气体（像氩气、氟气），这就避开了美国针对气体供应链进行制裁所带来的风险，其整体体积缩减了30%，能耗也降低了40%。

  技术的扩展潜能：首次制造出带有轨道角动量的涡旋光束，这给晶圆加工、缺陷检验测试开辟了新的途径，之后能够借助提升功率（计划在2026年达到20W）以及频率（朝着10kHz迭代）来接近商用的标准。

  整机研发方面，尚未上市的上海微电子，其28纳米深紫外（DUV）光刻机已经运用国产光源，预计到2026年，产能会提升至每年50台。

  核心逻辑为：在全世界内处于LBO/BBO晶体的领头羊，是中科院固态光源核心材料的供应者，其在全球的市场占有率超过80%。2025年第一季度的订单较同比增长了120%。

  机构预计，到2025年净利润能达到8.2亿元，较同比增长65%，毛利率会保持在68%的较高水平。

  核心逻辑为：光场匀化器进入ASML的供应链，固态光源的匀化精度能达到0.1nm，到2024年时半导体业务收入所占的比例会提升至40%。

  业绩预期为：到2025年，营收将突破25亿元，净利润预计同比增长80%。

  核心思路：5纳米刻蚀设备打入台积电的供应链体系，其和固态光源共同作用来提高光刻的精度，2024年新订单会增长百分之五十。

  KrF光刻胶占据着62%的市场占有率，其28nm ArF胶已通过上海微电子的验证，并且得到了大基金二期10亿元的资金注入以扩大生产规模。

  业绩预期：到2025年的时候，光刻胶所产生的收入在总体收入中的占比要超过50%，净利润与以往同期相比会实现翻倍增长。

  PVD设备的国产化率已超越了30%，其与光刻胶涂布设备相配套，到2024年研发投入会增加45%，这是核心逻辑所在。

  业绩预期：到2025年，半导体设备的收入会超过300亿元，毛利率将提高到42%。

  核心思路为：前道的涂胶显影设备与国产光刻机相适配，这使得28nm工艺的验证周期缩减了一半，涂胶显影设备的国产化比例超过了50%，能够匹配固态光源工艺，在28nm时胶厚的均匀性可达到±0.5%。其客户包括中芯国际、华虹集团。

  业绩预期为：到2025年的时候，出货量会超过200台，净利润与同期相比预计会增长120%。

  光刻机的定位光栅精度能达到0.5纳米，国产的替代率会从20%提高到60%，到2024年的时候毛利率将提高到55%。

  业绩展望：到2025年时，半导体业务的收入在总营收中的占比会超过35%，净利润将实现同比90%的增长。

  光刻胶所用的光引发剂纯度达到99.99%，已经过合肥长鑫的验证，到2025年其产能会扩展至800吨/年。

  业绩预期：到2025年，营收会实现同比85%的增长，净利率将提高至18%。

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